2021研究紹介
35/111

34キーワード相談に応じられる内容キーワード相談に応じられる内容 ナノ・マイクロ材料向けプラズマ技術に関する研究NAKAMURA Keiji工学部 電気電子システム工学科教授 中村 圭二プラズマ源の設計、プラズマの計測および制御、材料に対するプラズマの影響評価 我々の研究室では、従来にはない様々な機能や特性をもたらすナノ・マイクロ材料のためのコア技術としてプラズマに着目し、それに必要となるプラズマ装置やその周辺技術、さらには実際の応用を目指して、研究に取り組んでいます。【研究テーマ】●材料プロセス用プラズマ装置の開発 プラズマを取り囲んでいる容器壁の状態を制御することでプラズマ組成の 安定化を図り、微細なマイクロ・ナノ材料プロセスに適応できるプラズマ装置 を開発している。●材料プロセス用金属イオン源の開発と応用 大面積・大容量、高密度、金属ドロップレットフリーの理想的な金属イオン源 を開発し、超LSIデバイスでの金属配線工程などへの応用を目指している。●ナノプロセス用プラズマのモニタリング技術 誤差1%以下で電子密度をモニタできるプラズマ吸収プローブやカーリング プローブを開発し、ナノプロセス用プラズマ装置のモニタリングへの応用を 目指している。●プラズマイオン注入法によるナノレベル表面改質とその制御 プラズマのイオンを基材に直接注入することで高いスループットで表面改質 を行い、イオン注入面の二次電子放出率に着目したIn-situプロセス制御の 研究を行っている。プラズマ、材料プロセス、気相診断、表面モニタ特許P106参照キーワード相談に応じられる内容キーワード相談に応じられる内容回転機の解析ならびに特性改善に関する研究NAKAMURA Masanori 工学部 電気電子システム工学科教授 中村 雅憲誘導電動機および同期電動機(磁石モータ含む)の特性解析・設計上の問題点の改善 機械負荷に接続されている電動機は国内電力使用量の半分以上を消費していると言われており、そのため高効率が求められている。そのひとつの解決策として、永久磁石電動機が注目されており、中でも自己始動ができる電動機はその取扱いの簡便さから期待されている。 当研究室では、自己始動形単相永久磁石同期電動機(単相LSPMM)の解析ならびに実測を行っている。 また、誘導電動機(IM)の巻線を集中巻にして、分布巻に対してどの程度まで特性の悪化を防止できるか、磁界解析を中心に研究を開始している。 【研究テーマ】●自己始動形単相永久磁石同期電動機の特性改善に関する研究 (廣塚教授と共同研究テーマ)  商用周波数で自己始動ができる単相(コンデンサモータ)の特性をテン ソル解析で理論展開し、電流とトルクの一般式を導出していく。また、供 試機により特性を実測し、理論の妥当性を検証していく。●集中巻誘導電動機の特性改善に関する研究 永久磁石同期電動機ではすでに適用されている集中巻の技術をIMに 適用した場合の特性について、解析と供試機による実測を行い、特性改善 が可能か、研究を行っている。自己始動、永久磁石、テンソル解析、磁界解析、誘導電動機、集中巻工学部工学部

元のページ  ../index.html#35

このブックを見る