2017春学期開講科目シラバス

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授業計画6【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること7【内容】レーザの工業、医学、エネルギーへの応用【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること8【内容】プラズマの概要と性質【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること9【内容】電離気体中の衝突現象【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること10【内容】放電の開始、直流放電、高周波•マイクロ波放電【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること11【内容】プラズマの定義、デバイ遮蔽、プラズマの密度•温度、シース【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること12【内容】プラズマ振動、プラズマの比誘電率、プラズマ中の電磁波【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること13【内容】プラズマの測定、プローブ測定、分光測定【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること14【内容】プラズマの測定、電磁波干渉測定【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること15【内容】プラズマ応用、シリコン膜の微細加工【授業外学習】ノートと配布資料を使って復習と予習により理解を深めること16【内容】期末試験【授業外学習】授業方法配布資料に沿って講義を進める。成績の評価方法以下の試験および小テストと、取り組み姿勢(提出状況・受講態度など)にもとづいて評価する。1 期末試験の成績(50%)2 小テスト(30%)3 受講態度(20%)成績の評価基準授業内容の範囲内で、上述した達成目標とその項目がどれだけ達成されているかを、期末試験・小テストと受講態度により点数化する。これらの達成度を総合して100点満点に換算し、定められた成績評価基準・単位認定基準(S: 90点以上、A: 80点以上、B: 70点以上、C: 60点以上)に従って成績評価を行う。教科書No書籍名著者名出版社価格ISBN/ISSN1.『レーザ入門』J.Wilson & J.F.B.Hawkes, 清水忠雄監訳森北出版備考:購入不要2.『放電プラズマ工学』八坂保能森北出版備考:購入不要参考文献備考関連ホームページ5 レーザ・プラズマ工学

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